レーザーリフトオフ動画
対象基板材料
- ガラス
- サファイア
- SiC
- GaN
一般仕様
| 波長 | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| パルス幅 | ナノ秒・ピコ・フェムト秒 |
| 光学系 | 固定光学系またはガルバノ光学系 |
| XY ステージ | 500 mm x 500 mm |
| 加工範囲 | 160 mm |
| 移動速度 | Max1,000 mm/sec |
| 繰返し位置精度 | ±1um以下 |
| 絶対位置決め精度 | ±5μm以下 |
| ウエハサイズ | 2～6インチ |
| 制御 | Windows10 および PLC |
| 電源電圧 | AC200V±20V 単相 50/60kHz |
| 外形寸法 | 2400 mm(w) x 1700 mm(d) x2000 mm(h) |
| 本体重量 | 1,000kg |
詳細お問合せ
詳しい装置仕様や機能、サンプル加工依頼につきましては、下記担当者までお問合せ願います。
神戸本社 営業2部 担当：大橋
TEL：078-303-3810 E-mail：k_ohashi@seishin-syoji.co.jp
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