レーザースクライバー加工動画
対応基板材料は、主にアルミナセラミック。
対象ワークサイズは50mm×60mm及び60mm×70mm
※その他サイズの要求も対応します。
加工位置アライメント機能をはじめ、加工高さ自動制御機能、表裏アライメント機能を搭載しています。
一般仕様（SS-400 一般概略仕様）
| レーザ部 | 発振器：Fb LASER 波長：1.08um ±10μ 発振モード：TEM00モード 平均出力：200W (CW 時) 最小パルス幅：5μs 最大周波数：50kHz |
|---|---|
| 外形寸法・重量 （保守スペース除く） |
装置本体：約 1500 mm (W) x840 mm(D) x1380 mm(H) x重量 640kg 吸引ポンプ： 約550mm(W) x410 mm(D) x602mm(H) |
| 適用基板サイズ | 基板サイズ：①50×60mm ②54x60mm ③60x70mm 基板厚：0.09 ~0.6mm ※①～③を兼用する為には、部材交換が必要です。 ※100μ以下の薄基板対応は、別途ご相談となります。 |
| XY ステージ | ⚫︎XYステージ部 移動範囲：250mm (X) x145mm (Y) 移動速度：500mm/sec (Max) 送り機構：リニアモータ 表裏ズレ：+8μm 絶対位置精度：+6μm 送りビッチ制度：±6μm 繰り返し位置精度 ：±2μm 分解能：±1μm以下 ●載物台 基板吸着：真空吸着方式 搭載枚数：1枚 面精度：+8um ステージ表面：裏面観察可能 材質：SUS |
| 加工光学部 | 加エレンズ：f＝60mm BEX レンズ倍率✕2 カメラ：CCD モノクロカメラ 2台 モニタディスプレイ：17インチタッチバネル方式 焦点位置（Z）：ステッピングモータ制御（1pm/step） |
| ローダ／アンローダ | 1マガジン高さ：120mm (MAX) マガジンスタック：標準2本（供給1 収納1）※本数UPはオプション対応 |
| 電源電圧 | 電源：AC200V±20V 単相 50/60kHz エアー：圧力 0.5Mpa～0.6Mpa 流量 40NL/min |
詳細お問合せ
詳しい装置仕様や機能、サンプル加工依頼につきましては、下記担当者までお問合せ願います。
神戸本社 営業2部 担当：大橋
TEL：078-303-3810 E-mail：k_ohashi@seishin-syoji.co.jp
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