分光装置

小型から大型まで豊富なラインナップの中から分解能や波長などご測定内容に応じてご選択いただけます。
　CCD検出器、InGaAsアレイ検出器やシングルチャンネル検出器など　分光器と組み合わせる検出器も素子数や冷却方法もご選定いただけます。
　測定のご要望をお聞かせいただきましたら、ご提案いたします。
ラマン分光装置や蛍光分光装置などのシステム製品も取り扱っております。

フォトリフレクタンス非破壊評価システムは変調反射分光法を用いてエピウエハーのバンドギャップの評価を行うシステムです。
非破壊非接触測定、平置き設計なのでサンプルを安心してセッティングできます。サンプルに応じてレーザーやランプ光源を選択できます。

極低温、高分解能のフォトルミネッセンス装置です。
高純度Si結晶の不純物評価や各種半導体開発段階の評価にご使用いただけます

顕微PL・ラマン装置は大きなサンプルスペースを確保し、マッピングステージや低振動クライオスタット、プローブなどを搭載可能なシステムです。UV励起にも近赤外領域にも対応いたします。
ご所有のレーザーや分光器との組み合わせにも対応します。