フォトルミネッセンス法結晶解析装置
PL-82IGA
極低温、高分解能のフォトルミネッセンス装置です。
高純度Si結晶の不純物評価や各種半導体開発段階の評価にご使用いただけます
高純度Si結晶の不純物評価や各種半導体開発段階の評価にご使用いただけます
【特徴】
- InGaAsアレイ検出器を搭載
- ガラスデュワーが設置しやすい低床設計
- サンプル位置を確認できるCCDカメラ付
UVR-2000MA
【特徴】
- 50mmのウエハがマッピングできます
- 低温測定可能
- サンプルが平置きなのでセッティングが容易です
- レーザー複数台設置にも対応します（オプション）